GB/T 14264-2009 半导体材料术语
- 文件大小:865 KB
- 标准类型:国家标准
- 标准语言:简体标准
- 授权形式:免费标准
- 文件类型:PDF格式
- 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
- 更新时间:2015-10-11
- 下载次数:
- 标签:
资料介绍
标 准 编 号:GB/T 14264-2009
简体中文标题:半导体材料术语
繁體中文標題:半導體材料術語
English Name:Semiconductor materials—Terms and definitions
标准简介:
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。