GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
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- 标准类型:国家标准
- 标准语言:简体中文
- 授权形式:免费标准
- 文件类型:PDF格式
- 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
- 更新时间:2015-10-11
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资料介绍
标准编号:GB/T 14601-2009
简体名称:电子工业用气体 氨
繁体名称:電子工業用氣體 氨
英文名称:Gas for electronic industry—Ammonia
标准简介:
本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化