GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
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- 标准类型:国家标准
- 标准语言:简体中文
- 授权形式:免费标准
- 文件类型:PDF格式
- 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
- 更新时间:2015-10-11
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- 标签:磷化氢
资料介绍
标准编号:GB/T 14851-2009
简体名称:电子工业用气体 磷化氢
繁体名称:電子工業用氣體 磷化氫
英文名称:Gas for electronic industry—Phosphine
标准简介:
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。