GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
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- 标准类型:国家标准
- 标准语言:简体中文
- 授权形式:免费标准
- 文件类型:PDF格式
- 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
- 更新时间:2015-10-11
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资料介绍
标准编号:GB/T 16943-2009
中文名称:电子工业用气体 氦
英文名称:Gas for electronic industry—Helium
标准介绍:
本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。